[发明专利]掩模组件、用于制造显示设备的装置和方法有效
| 申请号： | 201510670931.7 | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN105529408B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 金在植;成宇镛;李德重 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 11018 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张燕;王珍仙<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种掩模组件、用于制造显示设备的装置和方法。掩模组件包括：掩模，该掩模包括具有图案的开口；以及自组装单层膜(SAM)，涂敷在掩模的至少一部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 用于 制造 显示 设备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模组件，包括：/n掩模，包括开口；以及/n自组装单层膜，涂敷在所述掩模的整个表面上，所述整个表面包括所述开口的内表面、所述掩模的面向沉积源的表面和所述掩模的面向基板的表面，其中所述自组装单层膜包括：/n头端，接触所述掩模；/n连接器，连接至所述头端；以及/n末端，连接至所述连接器，/n其中，所述头端是亲水的，并且所述末端是疏水的。/n
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