[发明专利]硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法及其应用

摘要

本发明公开了一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法，首先将硅片切割时产生的废砂浆进行回收，将聚乙二醇提取出来另用，剩余的含有碳化硅和硅粉的浆料制成滤饼，晾晒至水分小于10%后，破碎成粒度小于3mm的颗粒料，经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用；称取粘合剂和润湿剂，与颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料，入炉烘焙，待其水分小于2%时冷却出炉，得到理化指标为：T_Si=30~70%，Tc=10~25%，S≤0.1%，H₂O≤2%的复合硅碳球成品。本发明制造工艺简单，实现了硅片切割加工过程中产生的副产品-废砂浆中所含资源的综合利用，大大减少了环境污染，产生了较大的经济效益和社会效益。

主权项

一种硅片切割废砂浆制造复合硅碳球的方法，其特征在于包括下述步骤：第一步，将硅片切割时产生的废砂浆进行回收，按常规方法将其中的聚乙二醇提取出来另用，得到含有碳化硅和硅粉的浆料；第二步，将第一步的浆料制成滤饼，晾晒至水分小于10%后，破碎成粒度小于3mm的颗粒料，经化学分析确定其中的总硅含量后分类库存待用；第三步，称取粘合剂和润湿剂，与第二步制成的颗粒料混合后制成粒径小于50mm的坯料，入炉烘焙，待其水分小于2%时冷却出炉，得到复合硅碳球成品；第四步，烘焙好的复合硅碳球成品筛去不合格的颗粒后送检并包装入库，成品复合硅碳球的理化指标为：T_Si = 30~70%，Tc = 10~25%，S≤0.1%，H₂O≤2%。