[发明专利]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法在审
申请号: | 201510655728.2 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN105131842A | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 王沛;王志强 | 申请(专利权)人: | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 牛爱周 |
地址: | 450000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,属于超精密抛光技术领域。该方法包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。球磨过程中陶瓷球主要赋予金刚石微粉作用力,使金刚石微粉与纳米金刚石团聚体发生碰撞、挤压,对团聚体表面进行小幅度研磨,并将团聚体上的突出部分(因团聚方式不同造成团聚形貌不规整)移除,使其形貌更接近球形,从而达到形貌修整目的。修整后再通过离心、过滤的方式将微米级金刚石与纳米级金刚石团聚体分离,得到可直接用于蓝宝石晶片抛光加工的纳米金刚石抛光液。 | ||
搜索关键词: | 抛光 纳米 金刚石 团聚 体形 修整 方法 | ||
【主权项】:
抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,其特征在于:包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。
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