[发明专利]抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法在审

专利信息
申请号: 201510655728.2 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN105131842A 公开(公告)日: 2015-12-09
发明(设计)人: 王沛;王志强 申请(专利权)人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 代理人: 牛爱周
地址: 450000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明公开了一种抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,属于超精密抛光技术领域。该方法包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。球磨过程中陶瓷球主要赋予金刚石微粉作用力,使金刚石微粉与纳米金刚石团聚体发生碰撞、挤压,对团聚体表面进行小幅度研磨,并将团聚体上的突出部分(因团聚方式不同造成团聚形貌不规整)移除,使其形貌更接近球形,从而达到形貌修整目的。修整后再通过离心、过滤的方式将微米级金刚石与纳米级金刚石团聚体分离,得到可直接用于蓝宝石晶片抛光加工的纳米金刚石抛光液。
搜索关键词: 抛光 纳米 金刚石 团聚 体形 修整 方法
【主权项】:
抛光液中纳米金刚石团聚体形貌修整方法,其特征在于:包括以下步骤:取纳米金刚石抛光液、金刚石微粉和陶瓷球混合,抛光液中纳米金刚石与金刚石微粉、陶瓷球的质量比为1:2~5:0.1~0.5,加入研磨缓冲剂,球磨,即可。
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