[发明专利]一种高可靠性的薄膜体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201510649865.5 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN105262455B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李平;胡念楚;贾斌 | 申请（专利权）人： | 锐迪科微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 殷晓雪 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种高可靠性的FBAR(薄膜体声波谐振器)，在整个衬底之上具有隔离层，衬底和隔离层之间具有从衬底上表面向下凹陷的空气腔；隔离层之上分别具有下电极、压电层和上电极；上电极之上具有至少覆盖整个上电极和/或下电极的暴露部分的钝化层。与现有的FBAR相比，本申请在衬底之上增加了与衬底尺寸相同的隔离层。这一方面可以降低对衬底材料在电阻率方面的要求，从而降低衬底的成本；另一方面可以在不改变衬底材料的前提下，提升衬底对器件之间的隔离，从而提升谐振器的开路阻抗。本申请还在上电极和/或下电极的暴露部分之上增加了钝化层，可以有效预防上电极和/或下电极因氧化等变质对器件性能及长期可靠性带来的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高可靠性的薄膜体声波谐振器，其特征是，在整个衬底之上具有隔离层，衬底和隔离层之间具有从衬底上表面向下凹陷的空气腔；隔离层之上分别具有下电极、压电层和上电极；下电极与上电极的重叠区域全部在空气腔之上；上电极之上具有至少覆盖整个上电极和/或下电极的暴露部分的钝化层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于锐迪科微电子（上海）有限公司，未经锐迪科微电子（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510649865.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
