[发明专利]一种新型有机负胶显影液及其制备方法有效
| 申请号： | 201510619619.5 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105182703B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;C09K13/00 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型有机负胶显影液，其特征在于，所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂；所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物，或者石油醚与环氧乙烷的混合物；所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑。本发明有机负胶显影液在高效去除有机负胶的同时，采用铝保护剂有效阻止了芯片的铝基板不被显影液腐蚀，大幅提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 有机 显影液 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有机负胶显影液，其特征在于，所述显影液包括环戊酮、有机溶剂和铝保护剂；所述有机溶剂包括石油醚与四氢呋喃的混合物，或者石油醚与环氧乙烷的混合物；所述铝保护剂至少包括钼酸钠、苯并三氮唑，所述组分中各物质质量配比如下：环戊酮85%~99.8%、有机溶剂0.1%~15%、铝保护剂0.001%~0.1%。
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