[发明专利]c向蓝宝石晶棒a向平边的快速确定与加工方法

摘要

本发明提供了一种c向蓝宝石晶棒上a向平边的快速确定与加工方法，主要针对r向与平边位置有特殊要求的蓝宝石晶棒平边的加工。本发明通过在XRD衍射仪上安置一个辅助装置，首先找到一个r向，并在晶棒上标出所对应的位置，然后再标示出与其垂直的a向晶面位置，最后根据要求选定一个方向进行a向平边的加工。本发明简化了作业步骤，使操作更加简单，在保证所加工晶棒具有相同r向位置的同时，可以有效缩短加工周期，并显著提高后续加工的成品率，从而降低蓝宝石晶片的生产制造成本。

主权项

一种c向蓝宝石晶棒的a向平边确定及加工方法，其特征在于该方法包括在XRD衍射仪上安置一个辅助装置，首先找到一个r向，并在晶棒上标出所对应的位置，然后再标示出与其垂直的a向晶面位置，最后根据要求选定一个方向进行a向平边的加工；其具体加工方法如下：(1) 安放定向辅助装置：将一个中心轴与XRD衍射仪样品台平面成57°36′，与XRD衍射仪测量板平面成32°24′的斜面为空心半圆柱的直角梯形台安放在XRD衍射仪样品台上；(2) XRD衍射仪调位：将XRD衍射仪的入射角和衍射角分别调整到r向的θ，12°48’和2θ，25°36’处；(3) 放置晶棒：将端面为c面的蓝宝石晶棒放置在定向辅助装置的空心半圆柱内，使晶棒的中心轴平行于定向辅助装置的中心轴；(4) 旋转晶棒：以晶棒的中心轴为中心旋转晶棒，旋转过程中晶棒的中心轴始终平行于定向辅助装置的空心半圆柱的中心轴；(5) 检测r向：旋转晶棒，找到r面反射的X射线出现峰值的位置，并在晶棒上标示出来；(6) 标示a面：将晶棒固定在r面反射的X射线出现峰值的位置，以晶棒中心轴为中心、沿晶棒圆周方向，在与r向逆时针方向相间90°或与r轴顺时针方向相间90°的位置，把相应的a面标示在蓝宝石晶棒端面c面上；(7) 定位边加工：根据要求进行a向平边加工。