[发明专利]激光振荡器

摘要

激光振荡器具备放电管，其具有用于激励激光气体的放电空间；以及分别配置在放电管的两侧的输出镜和后镜。在输出镜的面对放电空间的表面上，在包括径向的中央部的第一区域中层叠具有第一反射率的第一涂覆材料来作为电介质多层膜，在第一区域的周围的第二区域中层叠具有比第一反射率高的第二反射率的第二涂覆材料来作为电介质多层膜。

主权项

一种激光振荡器，其特征在于，具备：放电管，其具有用于激励激光气体的放电空间；分别配置在上述放电管的两侧的输出镜和后镜；以及检测部，其检测激光输出，其中，在上述输出镜的面对上述放电空间的表面上，在包括径向中央部的第一区域中涂布有具有第一反射率的第一涂覆材料，在第一区域的周围的第二区域中涂布有具有比上述第一反射率高的99％以上的第二反射率的第二涂覆材料，上述输出镜的第一区域与第二区域之间的边界线位于以穿过上述放电管的中心的轴线为中心的近似圆上，该圆的直径为上述放电管的内径的90％以上且100％以下，在上述后镜的面对上述放电空间的表面上，在包括径向中央部的第一区域中涂布有具有99.0％以上且99.9％以下的第三反射率的第三涂覆材料，在第一区域的周围的第二区域中涂布有反射率比上述第三反射率低的无反射涂覆材料，上述第三涂覆材料在上述后镜的第一区域中以使反射率为99.0％以上且99.9％以下的方式涂布，上述无反射涂覆材料在上述后镜的第二区域中以使反射率几乎为0的方式涂布，上述后镜的第一区域与第二区域之间的边界线位于以穿过上述放电管的中心的轴线为中心的近似圆上，该圆的直径为上述放电管的内径的90％以上且100％以下，上述检测部被配置成与上述后镜的与上述放电空间相反的一侧的表面相对，并纳入比所述后镜的第一区域与第二区域之间的上述边界线靠径向内侧的范围。