[发明专利]激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及一种通过放电管激励激光气体来使激光振荡的激光振荡器。

背景技术

一般来讲，模次数越低维化则从激光振荡器输出的激光光束的质量(聚光性)越高。公知一种考虑这一点来抑制高次模的激光振荡、以低次模进行激光振荡的激光振荡器。例如在日本专利第3313623号公报、日本特开2013-247260号公报以及日本特开2009-94161号公报中公开了这样的激光振荡器。在这些专利文献所记载的激光振荡器中，在输出镜与后镜之间配置有孔构件(aperture)。激光振荡器通过孔构件来限制激光的直径，由此抑制高次模的激光振荡，并且抑制散射光的产生。

然而，上述的专利文献所记载的激光振荡器由于具有孔构件，因此存在如下问题：不仅结构变得复杂，而且孔构件吸收激光而导致激光输出下降。

对此，在日本特开平2-166778号公报中公开了在输出镜、后镜的表面实施涂覆来只使低次模的激光进行振荡的激光振荡器。在该激光振荡器中，在输出镜的径向中心部实施半透过膜的涂覆，在其周边部实施无反射膜的涂覆。然而，在该激光振荡器中，由于在输出镜的周边部进行无反射膜的涂覆，因此难以抑制散射光的产生。

发明内容

作为本发明的一个方式的激光振荡器具备：放电管，其具有激励激光气体的放电空间；以及分别配置在放电管的两侧的输出镜和后镜。在输出镜的面对放电空间的表面上，在包括径向的中央部的第一区域中涂布有具有第一反射率的第一涂覆材料，在第一区域的周围的第二区域中涂布有具有比第一反射率高的第二反射率的第二涂覆材料。

附图说明

本发明的目的、特征以及优点通过与附图相关联的以下的实施方式的说明会变得更明确。在该附图中，

图1是表示本发明的实施方式所涉及的激光振荡器的整体结构的图，

图2是图1的输出镜的第一面的主视图，

图3是图1的后镜的第一面的主视图，

图4是表示后镜与传感器的位置关系的、图1的主要部分截面图，

图5是表示图3的变形例的图，

图6是表示图3的其它变形例的图。

具体实施方式

下面，参照图1至图6来说明基于本发明的激光振荡器100的实施方式。图1是表示本发明的实施方式所涉及的激光振荡器100的整体结构的图。本实施方式所涉及的激光振荡器100是以激光气体为介质来通过放电管激励激光气体的高输出二氧化碳气体激光振荡器。

如图1所示，激光振荡器100具有：供激光气体循环的气体流路1；与气体流路1连通的放电管2；隔着放电管2配置在放电管2的两侧的输出镜3和后镜4；对放电管2的电极5、6施加电压(放电管电压)的电源部7；检测激光输出的传感器8；冷却激光气体的热交换器9、10；以及使激光气体沿气体流路1如箭头所示那样循环的送风机11。

放电管2具有截面形状为圆形的圆筒形状。放电管2的轴线CL穿过截面形状的圆的中心。轴线CL沿放电管2的长边方向延伸。在放电管2的内部形成有放电空间12。输出镜3的平面形状为以轴线CL为中心的圆形。另外，后镜4的平面形状为以轴线CL为中心的圆形。输出镜3和后镜4的平面形状的圆的外径比放电管2的内径D0大。输出镜3具有面对放电空间12的第一面31以及与该第一面31相反的一侧的第二面32，后镜4具有面对放电空间的第一面41以及与该第一面41相反的一侧的第二面42。输出镜3的第一面31和后镜4的第一面41分别形成为凹状，分别具有规定的曲率半径。输出镜3的第二面32为具有规定的曲率半径的凸面或者平坦面，后镜4的第二面42为平坦面。

在这样的激光振荡器100中，当对放电管2的各电极5、6提供电力时，即当施加放电管电压时，在放电管2内的放电空间12中开始激光气体的放电。通过该放电开始，激光气体被激励而产生光。光在输出镜3与后镜4之间发生谐振而通过受激发射被放大。被放大后的光的一部分作为激光13从输出镜3被取出。被取出的激光13例如被输出到未图示的激光加工机，来进行工件的切断等。