[发明专利]一种扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法

摘要

本发明公开了一种扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，通过在扫描程式中将每个扫描行实际缺陷数目与其对应的扫描行缺陷数目最大值进行对比，当出现连续发生若干扫描行实际缺陷数目都分别大于其对应的扫描行缺陷数目最大值时，即通过调高阈值的设定值，来过滤一些噪声缺陷，以便排除因某扫描行存在真实缺陷而导致其实际缺陷数目较高的情况，然后再继续进行扫描，从而既不会在有真实缺陷的情况下误调阈值，又能在阈值过紧的情况下通过不断修改阈值扫完整片晶圆，大大减少了一次又一次进行扫描程式改动所花费的时间和人力。

主权项

一种扫描程式运用阈值修正进行晶圆检测的方法，其特征在于，包括：步骤S01：利用一扫描机台建立一扫描程式，并根据设定的待检测晶圆的扫描程式信息，计算得到允许的各扫描行缺陷数目最大值；步骤S02：进行晶圆扫描，并在扫描程式中将获得的每个扫描行实际缺陷数目与其对应的扫描行缺陷数目最大值进行数值大小的比较；其中，在晶圆扫描过程中，根据扫描阈值对扫描图像的灰度差异值进行判断，当超过阈值时即认为是缺陷，得到每个扫描行的实际缺陷数目；步骤S03，当出现若干第一连续的扫描行实际缺陷数目都分别大于其对应的扫描行缺陷数目最大值时，在所述扫描程式中通过调高阈值的设定值，以使该阈值满足能够使得该第一连续的扫描行中最后一扫描行实际缺陷数目减少到等于或小于其对应的扫描行缺陷数目最大值条件，然后，使用该调高后的阈值进行自后一扫描行开始的扫描；步骤S04：当再出现若干第二连续的扫描行实际缺陷数目都分别大于其对应的扫描行缺陷数目最大值时，重复步骤S03，直至完成整片晶圆的完全扫描。