[发明专利]一种三自由度的运动工作台有效
| 申请号： | 201510587639.9 | 申请日： | 2015-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN105141106B | 公开（公告）日： | 2018-01-16 |
| 发明（设计）人： | 张鸣;朱煜;杨开明;成荣;陈安林;田丽;张利 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | H02K44/06 | 分类号： | H02K44/06 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种三自由度的运动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有一个动子、一个定子和一套位置测量系统，定子包含有一个基台、一个盖板和一组线圈阵列；一组线圈阵列设置在基台凹槽内，盖板设置在线圈阵列上部；动子包含有一磁性流体；所述的磁性流体设置在盖板的上表面，在线圈阵列产生的变化的磁场中在盖板上表面沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；盖板上表面做表面疏水处理；所述的一套位置测量系统设置在动子的正上方。磁性流体作为动子可任意聚合或分散，承载物体时还可变换形状增大抓取的摩擦力，具有动子轻巧、灵活多变，结构简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 运动 工作台 | ||
【主权项】：
一种三自由度的运动工作台，含有动子、定子和位置测量系统(5)，所述的定子含有一个基台(1)、一个盖板(3)和一组线圈阵列(7)；所述的线圈阵列(7)设置在基台的凹槽内，盖板(3)设置在线圈阵列(7)上部；所述的位置测量系统(5)设置在动子的上方，其特征在于：所述的动子包括至少一个磁性流体单元(4)；该磁性流体单元(4)设置在盖板(3)的上表面，所述盖板的上表面是经过疏水处理的；所述的磁性流体单元(4)相对于盖板(3)沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；所述线圈阵列(7)是由线圈分别沿水平面内的X方向和沿Y方向的线性阵列，或由线圈分别沿水平面内的X方向和沿Y方向线性相间错列排列成方形，或由线圈沿不同半径的圆周方向排列成圆形阵列，或由两个彼此正交的线圈沿水平面内的X方向和沿Y方向线性相间排列。
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