[发明专利]一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置

摘要

本发明公开了一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置，包括气浮支承本体、气压主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元，气浮支承本体上设置有进气孔、节流孔和调节单元安装孔，进气孔的进气口处和节流孔的出气口处分别设置有进气阀和出气阀；气压主动调节单元与气浮支承本体之间形成调节腔；支承本体检测单元用于实时检测气浮支承本体上下运动的速度、加速度和/或气浮支承本体相对于其下方气浮导轨的距离；驱动控制单元用于将检测装置所测得的信号进行滤波、放大及数据处理，生成驱动信号来驱动气压主动调节单元产生形变以改变调节腔的体积大小。本发明可以有效抑制气浮支承的微振动，同时具备结构紧凑、便于操控和高精度的特点。

主权项

一种主动调控节流孔入口气压的气浮支承装置，包括气浮支承本体、气压主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元，其特征在于：所述气浮支承本体上设置有进气孔、节流孔和调节单元安装孔，所述进气孔和节流孔分别与调节单元安装孔连通，所述进气孔的进气口处和节流孔的出气口处分别设置有进气阀和出气阀；所述气压主动调节单元嵌装在调节单元安装孔内，所述气压主动调节单元与气浮支承本体之间，以调节单元安装孔处形成调节腔，所述调节腔分别与进气孔和节流孔连通，所述气压主动调节单元能产生形变，从而改变调节腔的体积大小，以控制调节腔的气压，进而控制从调节腔内进入出气阀的气体的压力；所述支承本体检测单元用于实时检测气浮支承本体上下运动的速度、加速度和/或气浮支承本体相对于其下方气浮导轨的距离；所述驱动控制单元分别与检测装置和气压主动调节单元连接，用于将检测装置所测得的信号进行滤波、放大及数据处理，生成驱动信号来驱动气压主动调节单元产生形变以改变调节腔的体积大小，使得气浮支承本体与其下方气浮导轨之间的气浮气膜间距发生变化，同时改变气浮气膜的压强分布，从而实现对气浮支承本体刚度的主动调控。