[发明专利]一种钽铝靶的生产工艺在审
| 申请号： | 201510569380.5 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106521430A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钽铝靶的生产工艺，包括以下步骤A)将钽靶和铝背板叠加放置后放置于包套中；B)将步骤A)得到的包套抽真空，然后将包套中的钽靶和铝背板进行焊接；C)将得到的包套进行热处理，去除包套，得到钽铝靶。在生产钽铝靶的过程中，本申请将钽铝靶在密闭的包套空间内依次进行焊接和热处理，在包套的真空保护下能有效防止钽铝靶在固溶时效处理过程中钽靶表面的氧化，且不影响铝背板硬度的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽铝靶 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种钽铝靶的生产工艺，包括以下步骤：A)，将钽靶和铝背板叠加放置后放置于包套中；B)，将步骤A)得到的包套抽真空，然后将包套中的钽靶和铝背板进行焊接；C)，将得到的包套进行热处理，去除包套，得到钽铝靶。
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