[发明专利]一种具有调焦功能的对准系统及对准方法有效
| 申请号： | 201510550913.5 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106483777B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 于大维;杜荣 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有调焦功能的对准系统及对准方法，该系统包括对准成像单元、信号处理及控制单元以及用于承载硅片的工件台，硅片上设有对准标记，对准成像单元包括照明单元、具有相位差的相移标记及探测单元，探测单元用于探测硅片上的对准标记的成像信息和探测相移标记的成像信息，相移标记与最佳焦面处的硅片面为成像共轭关系；信号处理及控制单元对相移标记的成像信息进行处理，得到对准成像单元的离焦信息，并根据离焦信息和对准标记的成像信息控制工件台垂向运动，将工件台上的对准标记运动至最佳焦面位置。本发明采用具有一定相位差的相移标记以成像的方式进行自动调焦，把离焦量转化为相移标记成像的水平向移动，提高了对准系统适应能力。 | ||
| 搜索关键词： | 相移 成像信息 对准标记 对准成像单元 对准系统 硅片 探测单元 信号处理 工件台 相位差 调焦 离焦 成像 对准 探测 最佳焦面位置 水平向移动 标记成像 垂向运动 照明单元 自动调焦 离焦量 共轭 焦面 承载 转化 | ||
【主权项】：
1.一种具有调焦功能的对准系统，包括：对准成像单元、信号处理及控制单元以及用于承载硅片的工件台，所述硅片上设有对准标记，其特征在于，所述对准成像单元包括照明单元、具有相位差的相移标记以及探测单元，其中，所述相移标记设于玻璃基底上，所述相移标记包括不透光层和相移层，所述相移层与所述玻璃基底存在相位差；所述探测单元用于探测所述硅片上的对准标记的成像信息和探测所述相移标记的成像信息，所述相移标记与最佳焦面处的硅片面为成像共轭关系；所述信号处理及控制单元对所述相移标记的成像信息进行处理，得到所述对准成像单元的离焦信息，并根据所述离焦信息和所述对准标记的成像信息控制所述工件台垂向运动，将工件台上的对准标记运动至最佳焦面位置。
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