[发明专利]质量分析电磁铁有效
| 申请号： | 201510548657.6 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN105575754B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 立道润一;土肥正二郎;西村一平 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J49/20 | 分类号： | H01J49/20 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 电磁铁 质量分析 质量分离 方向垂直 方向偏转 遮蔽构件 分析 侧区域 堆积物 目标物 壁面 附着 混入 遮蔽 堆积 离子 | ||
【主权项】：
1.一种质量分析电磁铁，其具备在内侧区域形成带状离子束通道的分析管，使所述带状离子束向规定的方向偏转，利用质量的不同来分离包含在所述带状离子束中的离子，所述质量分析电磁铁的特征在于，用与所述带状离子束的前进方向垂直的平面切断所述带状离子束时的切断面为长方形，在所述质量分析电磁铁的外侧下游配置分析狭缝，所述分析狭缝仅使包含有期望离子成分的所述带状离子束通过，在与所述带状离子束的前进方向和所述带状离子束的质量分离方向垂直的方向上，在所述分析管的上侧壁和下侧壁具有至少一个遮蔽构件，所述遮蔽构件以遮蔽所述带状离子束的长边端部的方式隔着所述离子束的输送路径相对。
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