[发明专利]质量分析电磁铁有效

专利信息
申请号: 201510548657.6 申请日: 2015-08-31
公开(公告)号: CN105575754B 公开(公告)日: 2018-06-26
发明(设计)人: 立道润一;土肥正二郎;西村一平 申请(专利权)人: 日新离子机器株式会社
主分类号: H01J49/20 分类号: H01J49/20
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 周善来;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 离子束 电磁铁 质量分析 质量分离 方向垂直 方向偏转 遮蔽构件 分析 侧区域 堆积物 目标物 壁面 附着 混入 遮蔽 堆积 离子
【权利要求书】:

1.一种质量分析电磁铁,其具备在内侧区域形成带状离子束通道的分析管,使所述带状离子束向规定的方向偏转,利用质量的不同来分离包含在所述带状离子束中的离子,

所述质量分析电磁铁的特征在于,

用与所述带状离子束的前进方向垂直的平面切断所述带状离子束时的切断面为长方形,

在所述质量分析电磁铁的外侧下游配置分析狭缝,所述分析狭缝仅使包含有期望离子成分的所述带状离子束通过,

在与所述带状离子束的前进方向和所述带状离子束的质量分离方向垂直的方向上,在所述分析管的上侧壁和下侧壁具有至少一个遮蔽构件,所述遮蔽构件以遮蔽所述带状离子束的长边端部的方式隔着所述离子束的输送路径相对。

2.根据权利要求1所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件是平板状构件。

3.根据权利要求1所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件从所述分析管的壁面朝向与所述带状离子束的前进方向相反的一侧倾斜。

4.根据权利要求1或3所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件具有多个,并且隔着所述带状离子束相对配置。

5.根据权利要求1或3所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件具有主体部和承接部,所述承接部从所述主体部朝向与所述带状离子束的前进方向相反的一侧伸出,所述承接部从所述主体部朝向安装有所述主体部的所述分析管的壁面侧弯曲。

6.根据权利要求1或3所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件具有主体部和侧面部,所述侧面部设置在所述主体部的所述带状离子束的质量分离方向上,所述主体部和所述侧面部的至少一方安装在所述分析管的壁面上,并且所述侧面部从所述主体部朝向所述壁面伸出。

7.根据权利要求6所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件具有承接部,所述承接部从所述主体部朝向与所述带状离子束的前进方向相反的一侧伸出,所述承接部从所述主体部朝向安装有所述主体部和所述侧面部中的至少一方的所述分析管的壁面侧弯曲。

8.根据权利要求1或3任意一项所述的质量分析电磁铁,其特征在于,所述遮蔽构件是平板状构件,当将所述遮蔽构件向所述分析管的壁面安装的安装角度设为θ1且将所述带状离子束的发散角度设为θ2时,所述遮蔽构件以满足θ2<θ1的关系的方式安装在所述分析管上。

9.根据权利要求1或3所述的质量分析电磁铁,其特征在于,在所述带状离子束的前进方向上在比所述分析管的中央部更靠下游的位置设置有所述遮蔽构件。

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