[发明专利]一种轴承内圈滚道强化处理装置及处理方法

摘要

本发明公开了一种轴承内圈滚道强化处理装置，它包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统。还公开了处理方法。通过本发明装置，形成一套完整的轴承内圈滚道离子注入处理设备。射频电源建立射频放电氮、碳、氩等离子体，大功率高压脉冲电源对被处理内圈滚道提供负高压脉冲偏压，以实施离子注入或薄膜沉积处理。冷却套上的轴承内圈在缓慢旋转，表面获得较均匀的注入剂量，使得轴承内圈滚道获得较均匀的注入剂量；强化处理效果更好。

主权项

一种轴承内圈滚道强化处理装置,其特征在于，包括真空处理室、高压靶台、旋转机构、传动机构、等离子体产生器、大功率高压脉冲电源、供气系统和高真空抽气系统；所述的真空处理室包括钟罩、底板，所述的钟罩置于底板上方；所述的高压靶台包括靶台圆盘和绝缘支座，所述的绝缘支座一端固定在底板上，另一端固定在靶台圆盘底部将其支撑固定；所述的靶台圆盘上设置冷却套，该冷却套一端穿过靶台圆盘；所述的旋转机构包括传动轴和齿轮组；所述的传动轴一端穿过底板，另一端活动固定在高压靶台底壁上；所述的齿轮组包括转矩分配齿轮、内圈旋转齿轮和过渡齿轮，所述的转矩分配齿轮套接在传动轴上，其周边配合四个被冷却套一端套接的内圈旋转齿轮；所述的过渡齿轮用于配合连接远处端的内圈旋转齿轮；所述的等离子体产生器包括射频电源和条态弧形电极，射频电源一端与设置于真空处理室内的条态弧形电极连接，另一端与钟罩连接；所述的高真空抽气系统包括涡轮分子泵和旋片式真空泵，所述的真空泵与涡轮分子泵连接，所述的涡轮分子泵吸入口穿过底板与真空处理室连通；所述的供气系统包括钢瓶、气体质量流量计、电磁阀、混气室和布气管，所述的气体质量流量计两端分别连接电磁阀，两端的电磁阀分别与钢瓶、混气室连接；所述的混气室与真空处理室内的布气管连接；所述的大功率高压脉冲电源负极与靶台圆盘连接，正极与底板连接并接地。