[发明专利]用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置有效
| 申请号： | 201510457929.1 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105321953B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | T·迈尔;J·巴茨;R·施特劳布;J·托马施科;C·辛格尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/331 | 分类号： | H01L41/331;H01L41/04;H01L41/113;H01L41/314;H01L41/187;H01L41/29;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/083;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/27;H01L41/337 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明创造一种用于压电层布置的制造方法和相应的压电层布置。所述制造方法包括以下步骤：在衬底(1)上沉积第一电极层(2)，在所述第一电极层(2)上沉积第一绝缘层(3)，在所述第一绝缘层(3)中构造贯通开口(10)以便在所述贯通开口(10)内暴露所述第一电极层(2)，在所述第一绝缘层(3)上并且在所述贯通开口(10)内的第一电极层(2)上沉积压电层(4)，背侧打磨所得到的结构以构造平的表面(OF)，在所述表面上暴露由所述第一绝缘层(3)包围的压电层区域(4a)，以及在所述第一绝缘层(3)上沉积并且结构化第二电极层(5)，所述第二电极层接通所述压电层区域(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压电 布置 制造 方法 相应 | ||
【主权项】：
暂无信息
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