[发明专利]基板导正机构

摘要

本发明是关于一种基板导正机构，其包括真空吸附平台、X轴导正装置及Y轴导正装置。真空吸附平台供承载至少一基板，基板具有相互垂直的第一边及第二边。X轴导正装置邻设于真空吸附平台的一侧边，对应基板的第一边，X轴导正装置包括驱动单元、X载台及设于X载台上的至少两推抵柱。驱动单元用以驱动X载台移动，使基板的第一边与Y轴线对齐。Y轴导正装置邻设于真空吸附平台的另一侧边，对应基板的第二边，Y轴导正装置包括驱动单元、Y载台及设于Y载台上的至少两推抵柱。驱动单元用以驱动Y载台移动，使基板的第二边与X轴线对齐。真空吸附平台被控制在提供一吸力，允许基板受推抵柱推挤而移动。本发明能对基板进行导正作业，降低其歪斜幅度。

主权项

一种基板导正机构，其特征在于，所述基板导正机构包括：一真空吸附平台，供承载至少一基板，所述基板具有相互垂直的一第一边及一第二边；一X轴导正装置，邻设于所述真空吸附平台的一侧边，且对应所述基板的第一边，所述X轴导正装置包括一第一驱动单元、一X载台及设于所述X载台上的至少两第一推抵柱；所述第一驱动单元用以驱动所述X载台移动，以使所述X载台上的所述第一推抵柱对所述真空吸附平台上的所述基板纵向推移至一第一位置，使得所述基板的第一边与一Y轴线对齐；以及一Y轴导正装置，邻设于所述真空吸附平台的另一侧边，且对应所述基板的第二边，所述Y轴导正装置包括一第二驱动单元、一Y载台及设于所述Y载台上的至少两第二推抵柱；所述第二驱动单元用以驱动所述Y载台移动，以使所述Y载台上的所述第二推抵柱对所述真空吸附平台上的所述基板横向推移至一第二位置，使得所述基板的第二边与一X轴线对齐；其中，所述真空吸附平台被控制在提供一吸力，允许所述基板受所述第一推抵柱和所述第二推抵柱推挤而移动，以防止所述基板受推挤时滑移而脱离所述第一推抵柱和所述第二推抵柱。