[发明专利]吸附法提纯硅烷的方法在审
| 申请号： | 201510413573.1 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN106348302A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 黄国强;黄友光;王国锋;潘金花 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所12201 | 代理人： | 王丽 |
| 地址： | 300072 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及吸附法提纯硅烷的方法；在吸附柱中装有吸附剂，粗硅烷通过吸附柱入口加入、经过吸附剂吸附后，高纯硅烷经过采出口采出。吸附柱为一个或多个串联。多个串联吸附柱是由硅烷入口和出口通过管道与吸附柱相连。吸附柱的吸附温度控制在-200～200℃。吸附剂是能吸附硅烷的杂质而不吸附硅烷的物质。吸附剂优选为分子筛、活性炭、硅胶、活性氧化铝和类似的吸附剂等。每个吸附柱中装填单一的吸附剂花落装填混合的吸附剂；本发明吸附提纯硅烷分离提纯硅烷操作工艺简单，设备投资少，得到的硅烷纯度高。提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。吸附提纯中吸附剂容易再生，成本低，硅烷易燃易爆，该方法提纯硅烷条件温和，安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 提纯 硅烷 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附法提纯硅烷的方法；其特征是在吸附柱中装有吸附剂，粗硅烷通过吸附柱入口加入、杂质被吸附柱吸附后，高纯硅烷经过采出口采出。
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