[发明专利]基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法及硅片制绒方法在审
| 申请号： | 201510403856.8 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104962998A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 应智琴;叶继春;高平奇;韩灿;廖明墩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郭晓华 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和水混合得到预处理液；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直到基本去除硅片上的切割纹；c用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；d将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具均匀微纳结构的预处理绒面。本发明还提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金刚 切割 硅片 预处理 方法 | ||
【主权项】：
一种基于金刚线切割的硅片的制绒预处理方法，其包括如下步骤：a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液和金属盐混合得到预处理液；b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理A，直到基本去除硅片上的切割纹；c用酸性溶液对经过预处理A处理的硅片进行清洗，以去除硅片上的金属颗粒；d将用酸性溶液清洗过的硅片置于预处理液中进行预处理B，在所述硅片上形成具均匀微纳结构的预处理绒面。
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