[发明专利]纳米压印滚筒模具制备装置和制备方法

摘要

一种基于电化学微加工的纳米压印滚筒模具制备装置，包括旋转轴，待加工滚筒模具装于所述旋转轴上；电极架和装于所述电极架上的微细加工电极，所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具相对安置；用于安置电极架的移动台，所述移动台能够实现垂直和水平运动；在所述微细加工电极的加工区域喷射刻蚀液的喷头；在所述微细加工电极和所述待加工滚筒模具之间加载高频脉冲电信号的高频脉冲电源。一种纳米压印滚筒模具制备方法，使用所述的纳米压印滚筒模具制备装置。该装置结构简单，成本低，加工效率和加工精度高。

主权项

一种基于电化学微加工的纳米压印滚筒模具制备装置，其特征在于，包括：旋转轴，待加工滚筒模具装于所述旋转轴上，能在所述旋转轴的带动下进行旋转运动；电极架和装于所述电极架上的微细加工电极，所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具相对安置；用于安置电极架的移动台，所述移动台能够实现垂直和水平运动，以带动所述微细加工电极实现所需的位移；喷头，所述喷头在所述微细加工电极的加工区域喷射刻蚀液，形成电解加工环境；高频脉冲电源，所述高频脉冲电源在所述微细加工电极和所述待加工滚筒模具之间加载高频脉冲电信号，以使所述刻蚀液在所述待加工滚筒模具上刻蚀；其中由所述移动台带动的所述微细加工电极和由所述旋转轴带动的所述待加工滚筒模具被配置成可按照预设压印图形运动，以使所述刻蚀液在所述待加工滚筒模具上刻蚀出所需图形；在开始水平加工刻蚀之前，先使所述微细加工电极相对于所述待加工滚筒模具垂直进给，通过监测所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具间的电流值来控制所述微细加工电极与所述待加工滚筒模具的相对进给速度，其中在检测到电流发生突变前按照第一速度进给，在检测到电流发生突变后，按照低于所述第一速度的第二速度进给并以设定的加工电流密度进行加工，达到结构所需的加工深度。