[发明专利]微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201510399873.9 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN104950133B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 严国锋;张良;李莹;何赛灵 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P5/26 | 分类号： | G01P5/26 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流体流速传感芯片、检测系统及检测方法，芯片包括基于微结构布拉格光栅的流速传感单元和微流芯片；基于微结构布拉格光栅的流速传感单元插入微流芯片的光纤通道，微流槽与微流通道对准齐平后；本发明将微流通道嵌入传感单元当中，微流通道内通入待测微流体后，微流槽区域光纤热平衡发生变化，引起相移区的温度发生变化，最终导致相移量变化，引起微结构相移布拉格光栅的反射谱上分裂点波长的漂移；根据此波长的漂移量与流速的标定关系，即可反推出微流通道内微流液体的流速大小；本发明具备集成度高，测量准确，灵敏度及空间分辨率高，抗干扰性强等特点，不仅适于单点流速测量，同样可以实现多点准分布式流速监控。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 流速 传感 芯片 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于微结构相移布拉格光栅的微流体流速传感芯片，其特征在于，包括基于微结构布拉格光栅的流速传感单元和微流芯片(6)；其中，所述基于光热光纤微结构相移布拉格光栅的流速传感单元包括第一单模光纤(1)、光热光纤(2)和第二单模光纤(5)；光热光纤(2)的两端分别熔接第一单模光纤(1)和第二单模光纤(5)，光热光纤(2)经过载氢处理，其上利用相位掩模法制备微结构相移布拉格光栅(3)，在微结构相移布拉格光栅(3)区域中部位置侧面开有一个宽L和深H的微流槽(4)；所述微流芯片(6)中具有相互垂直的光纤通道(7)和微流体通道(8)，光纤通道(7)的高度和宽度都与第一单模光纤(1)和第二单模光纤(5)的裸纤直径相等，微流通道(8)的宽度与微流槽(4)的宽度相等，微流通道(8)的高度与微流槽(4)的深度相等；基于微结构布拉格光栅的流速传感单元插入微流芯片(6)的光纤通道(7)，微流槽(4)与微流通道(8)对准齐平后用粘胶固定。
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