[发明专利]一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液及其制备方法有效
| 申请号： | 201510397803.X | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN104947109B | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 袁聪 | 申请（专利权）人： | 湖南城市学院 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 413000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液，所述蚀刻液专门针对辅助微细超声加工研制，所述蚀刻液由所述蚀刻液由以下质量百分含量的组分组成氯化铁5～15％、酸3～5％、苯并三唑2～4％、乙二胺1～2％、十二烷基磺酸钠2～3％，余量为水；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸组成，而且所述高氯酸、次氯酸和磺酸的质量比为(1～3)(6～14)(15～26)。本发明所述蚀刻液具有较低的蚀刻速度，而且侧蚀量较小，能够有效用于辅助微细超声加工。本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法，以及所述蚀刻液在辅助微细超声加工中的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 辅助 微细 超声 加工 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液由以下质量百分含量的组分组成：氯化铁5~15%、酸3~5%、苯并三唑2~4%、乙二胺1~2%、十二烷基磺酸钠2~3%，余量为水；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸组成，而且所述高氯酸、次氯酸和磺酸的质量比为（1~2）：（7~12）：（18~25）；所述苯并三唑和乙二胺的质量和与十二烷基磺酸钠的质量比为（苯并三唑+乙二胺）：十二烷基磺酸钠=（1~2）:1，且苯并三唑与乙二胺的质量比为2:1。
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