[发明专利]三维微动测定装置有效
| 申请号： | 201510397370.8 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN105320152B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 繁野雅次;渡边和俊;渡边将史 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三维微动装置，其利用在相比于移动体的微动相对不动的基体部或粗动部上固定的移动量检测单元直接检测固定有悬臂等移动体的固定部件的三维位置，由此能够简易且正确地测定固定部件以至移动体的位置。该三维微动装置(200A)具备：移动体(1)；固定部件(101)，所述移动体固定在该固定部件上；三维微动部(111)，所述固定部件固定在该三维微动部上，该三维微动部能够隔着该固定部件使移动体三维地微动；基体部(13)，三维微动部固定在该基体部上；以及移动量检测单元(130)，其固定于基体部来检测固定部件的移动量。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 微动 测定 装置 | ||
【主权项】：
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