[发明专利]一种光刻照明系统中的相干因子调整装置

摘要

本发明公开了一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，包括反射镜组，位于照明系统前端光路上，反射镜组高精度旋转电机驱动，可以有较高的旋转精度；准直镜组位于反射镜组后的照明系统光路上；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；再经过后方的均匀照明子系统后在掩模面上获得均匀的光强分布。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化，提高系统透过率，达到简化结构降低成本的目的。

主权项

一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：利用两组反射镜、一组准直镜以及一组锥形棱镜可以实现相干因子的连续变化；将准直镜组、锥形棱镜中心的连线定义为系统的光轴，所述装置包括：反射镜组，由四片反射镜组成，起调整由聚光镜汇聚出射光的数值孔径的作用，每片反射镜都由高精度旋转电机控制其旋转，通过转动反射镜来改变光束从反射镜出射的数值孔径；准直镜组：位于反射镜组后，负责准直反射镜组出射的光束；锥形棱镜组：位于准直镜组后，由两个锥形棱镜组成，通过调整锥形棱镜的间隔能同时改变光束的内外沿高度，保持光束宽度和角度不变；每组反射镜分布于光轴的两侧，反射镜组的中心与准直镜组和锥形棱镜组的中心在同一条直线上。