[发明专利]一种光刻照明系统中的相干因子调整装置

权利要求书

1.一种光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：利用两组反射镜、一组准直镜以及一组锥形棱镜可以实现相干因子的连续变化；将准直镜组、锥形棱镜中心的连线定义为系统的光轴，所述装置包括：

反射镜组，由四片反射镜组成，起调整由聚光镜汇聚出射光的数值孔径的作用，每片反射镜都由高精度旋转电机控制其旋转，通过转动反射镜来改变光束从反射镜出射的数值孔径；

准直镜组：位于反射镜组后，负责准直反射镜组出射的光束；

锥形棱镜组：位于准直镜组后，由两个锥形棱镜组成，通过调整锥形棱镜的间隔能同时改变光束的内外沿高度，保持光束宽度和角度不变。

2.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：每组反射镜分布于光轴的两侧，反射镜组的中心与准直镜组和锥形棱镜组的中心在同一条直线上。

3.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：当每组反射镜组的反射镜分布于照明系统光轴两侧时，为了保证实现光束整形的功能，每组反射镜组的入射端间隔必须大于出射端间隔。

4.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：反射镜组还可以与准直镜组和锥形棱镜组成非共轴系统，其中，第一和第四片反射镜位于照明系统的光轴上，第二和第三片反射镜不位于照明系统的光轴上。

5.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：可将第三片反射镜设置成动镜来确保反射镜组出射光束的中心在照明系统的光轴上。

6.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：为了保证反射镜组的出射光束能全部被准直，准直镜组的物方数值孔径必须大于反射镜组的出射数值孔径。

7.根据权利要求1所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：所述反射镜由低转速高精度的旋转电机驱动，控制精度在秒级，以满足照明系统数值孔径调整时的对准精度要求。

8.根据权利要求1-7任一项所述的光刻照明系统中的相干因子调整装置，其特征在于：所述锥形棱镜由精度在微米量级的步进电机控制，控制精度满足照明系统的对准要求。