[发明专利]一种快速转镜动态面形的测试系统

摘要

本发明为一种快速转镜动态面形的测试系统，包括系统控制器、闪烁光源、准直光管、分束镜、快速转镜、测试球面镜、参考球面镜、观察屏和CCD相机系统；闪烁光源经准直光管扩束后出射平行光，由分束镜分成两束光，透过的一路照射到快速转镜的镜面上，由快速转镜反射到测试球面镜；测试球面镜的反射光束按原光束的光轴原路返回一束准球面波；准球面波经快速转镜按准直光束的光轴反向传输，经分束镜投射到观察屏上；反射的一路直接照射到参考球面镜的镜面上；参考球面镜反射的准球面波通过分束镜也投射到观察屏上，两束准球面波相互重叠并产生干涉图案，观察屏后的CCD相机实时记录干涉图案，通过干涉图案得到快速转镜动态时的型面。

主权项

一种快速转镜动态面形的测试系统，其特征在于：包括系统控制器、闪烁光源、准直光管、分束镜、快速转镜、测试球面镜、参考球面镜、观察屏和CCD相机系统；闪烁光源经准直光管扩束后出射平行光，由分束镜分成两束光，透过的一路照射到快速转镜的镜面上，由快速转镜反射到测试球面镜；所述的快速转镜位于测试球面镜的球心处；测试球面镜的反射光束按原光束的光轴原路返回一束准球面波，其焦点在光轴上，距离快速转镜中心点r/2，其中r为测试球面镜的曲率半径；准球面波经快速转镜按准直光束的光轴反向传输，经分束镜投射到观察屏上；反射的一路直接照射到参考球面镜的镜面上；参考球面镜与测试球面镜的曲率半径相同，并且分束镜到参考球面镜和测试球面镜的光程相等；参考球面镜反射的准球面波通过分束镜也投射到观察屏上，两束准球面波相互重叠并产生干涉图案，观察屏后的CCD相机实时记录干涉图案，通过干涉图案得到快速转镜动态时的型面；所述的系统控制器采用锁相技术将闪烁光源、快速转镜和CCD相机三者进行同步，使CCD相机对快速转镜运动时的不同位置的干涉图进行记录；所述闪烁光源使用高能量脉冲激光器。