[发明专利]用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置、激光加工设备、激光加工控制方法有效

专利信息
申请号: 201510362823.3 申请日: 2015-06-26
公开(公告)号: CN104977814B 公开(公告)日: 2017-07-21
发明(设计)人: 孙洪波;于颜豪;陈岐岱;姜俊 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 汤雄军
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置,包括曝光强度输出部;硬件计数部,包括硬件计数器和位置反馈器,位置反馈器提供关于位移台位置的反馈信号,加工件固定在位移台上;单刀双掷式模拟开关芯片,具有常通端、常断端、公共端和控制端,常通端接地,常断端与曝光强度输入部连接,控制端与硬件计数器连接以控制公共端与常通端或常断端连通,公共端构造成与激光调制器连接;硬件计数器接收位置反馈器所反馈的脉冲信号进行计数,在计数开始时输出开启激光曝光的第一电平值,且在计数达到阈值时输出关闭激光曝光的第二电平值,控制端基于第一电平值控制公共端与常断端连通,控制端基于第二电平值控制公共端与常通端连通。
搜索关键词: 用于 激光 加工 曝光 开关 强度 控制 装置 设备 方法
【主权项】:
一种用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置,包括:曝光强度输出部,输出调控激光曝光强弱的信号;硬件计数部,包括硬件计数器和位置反馈器,位置反馈器构造成提供关于位移台的位置的反馈信号,加工件固定在位移台上;单刀双掷式模拟开关芯片,具有常通端、常断端、公共端和控制端,其中:常通端接地,常断端与曝光强度输入部连接,控制端与硬件计数器连接以控制公共端与常通端连通还是与常断端连通,公共端构造成与激光调制器连接;硬件计数器接收位置反馈器所反馈的脉冲信号进行计数,在计数开始时输出开启激光曝光的第一电平值,且在计数达到阈值时输出关闭激光曝光的第二电平值,控制端基于接收到的第一电平值控制公共端与常断端连通,控制端基于接收到的第二电平值控制公共端与常通端连通。
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