[发明专利]用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置、激光加工设备、激光加工控制方法

权利要求书

1.一种用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置，包括：

曝光强度输出部，输出调控激光曝光强弱的信号；

硬件计数部，包括硬件计数器和位置反馈器，位置反馈器构造成提供关于位移台的位置的反馈信号，加工件固定在位移台上；

单刀双掷式模拟开关芯片，具有常通端、常断端、公共端和控制端，

其中：

常通端接地，常断端与曝光强度输入部连接，控制端与硬件计数器连接以控制公共端与常通端连通还是与常断端连通，公共端构造成与激光调制器连接；

硬件计数器接收位置反馈器所反馈的脉冲信号进行计数，在计数开始时输出开启激光曝光的第一电平值，且在计数达到阈值时输出关闭激光曝光的第二电平值，控制端基于接收到的第一电平值控制公共端与常断端连通，控制端基于接收到的第二电平值控制公共端与常通端连通。

2.根据权利要求1所述的控制装置，其中：

所述硬件计数器为可编程计数器，计数阈值能够编程。

3.根据权利要求1所述的控制装置，其中：

第一电平值为高电平值，第二电平值为低电平值。

4.根据权利要求1所述的控制装置，其中：

所述位置反馈器为光栅尺或者编码器。

5.根据权利要求1所述的控制装置，其中：

所反馈的脉冲信号为方波脉冲信号。

6.根据权利要求1所述的控制装置，其中：

曝光强度输出部为数模转换器，其输出调控激光曝光强弱的模拟电压信号。

7.一种激光加工设备，包括：

激光源；

激光路径，设置有激光调制器和物镜，来自激光源的激光束被激光调制器调制后经由物镜入射到加工件上；

位移台，加工件固定于位移台上；和

根据权利要求1-6中任一项所述的用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置。

8.一种激光加工控制方法，包括步骤：

提供根据权利要求1-6中任一项所述的用于激光加工的曝光开关和曝光强度的控制装置；

对位置反馈器所反馈的脉冲信号进行计数，在计数开始时输出开启激光曝光的第一电平值，且在计数达到阈值时输出关闭激光曝光的第二电平值。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括步骤：

改变硬件计数器的计数阈值。

10.根据权利要求8所述的方法，还包括步骤：

改变曝光强度输出部的输出信号以调节曝光强度。