[发明专利]用于底层的芳香族树脂有效
| 申请号： | 201510353543.6 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105301897B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | E·阿卡德;M·李;S·山田;S·W·赵 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 樊云飞;陈哲锋 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及芳香族树脂聚合物和含有其的组合物，其在半导体制造方法中适用作底层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 底层 芳香族 树脂 | ||
【主权项】：
1.一种形成图案化层的方法，包括：/n将组合物层安置在衬底上，所述组合物包含含一或多个式(1)重复单元的聚合物：/n
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