[发明专利]一种盛装蚀刻液的装置有效
申请号: | 201510332190.1 | 申请日: | 2015-06-16 |
公开(公告)号: | CN104878387B | 公开(公告)日: | 2017-09-15 |
发明(设计)人: | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请(专利权)人: | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙)51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种盛装蚀刻液的装置,它包括机座(1)、伺服电机(2)和储罐(3),伺服电机(2)垂直于立柱B(5)设置且固定安装在立柱B(5)上,储罐(3)的两侧分别设置有转轴I(6)和转轴II(7),转轴I(6)的另一端旋转安装在立柱A(4)上,转轴II(7)与伺服电机(2)的输出端连接,储罐(3)内设置有用于盛装蚀刻液的型腔(8),储罐(3)的顶部、底部分别设置有进液口(9)、出液口(10),进液口(9)和出液口(10)均与型腔(8)连通,储罐(3)的两个侧壁上均设置有多个与型腔(8)连通的进气口(11)。本发明的有益效果是制造成本低、操作简单、能够有效避免蚀刻液产生沉淀。 | ||
搜索关键词: | 一种 盛装 蚀刻 装置 | ||
【主权项】:
一种盛装蚀刻液的装置,其特征在于:它包括机座(1)、伺服电机(2)和储罐(3),所述的机座(1)上设置有垂直于机座(1)的立柱A(4)和立柱B(5),所述的伺服电机(2)垂直于立柱B(5)设置且固定安装在立柱B(5)上,所述的储罐(3)的两侧分别设置有转轴I(6)和转轴II(7),转轴I(6)和转轴II(7)对称设置,转轴I(6)的另一端旋转安装在立柱A(4)上,转轴II(7)与伺服电机(2)的输出端连接,所述的储罐(3)内设置有用于盛装蚀刻液的型腔(8),储罐(3)的顶部、底部分别设置有进液口(9)、出液口(10),所述的进液口(9)和出液口(10)处均连接有截止阀(12),进液口(9)和出液口(10)均与型腔(8)连通,所述的储罐(3)的两个侧壁上均设置有多个与型腔(8)连通的进气口(11),该装置还包括控制器,所述的控制器与伺服电机(2)连接,该装置的工作步骤为:S1、打开进液口(9)处的截止阀(12),往型腔(8)内注入一定量的蚀刻液随后关闭该截止阀(12);S2、控制伺服电机(2)的启动,伺服电机(2)带动转轴II(7)转动,转轴II(7)带动储罐(3)做旋转运动,从而带动蚀刻液做旋转运动;S3、同时经进气口(11)向储罐(3)内通入洁净的高压空气,高压空气推动蚀刻液在型腔(8)内做不规则的往复运动,并结合旋转运动避免蚀刻液产生沉淀;S4、当要取用蚀刻液时,关闭伺服电机(2),打开出液口(10)处的截止阀(12),将蚀刻液放出。
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