[发明专利]基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统

摘要

基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法与系统属于表面形貌测量技术领域；本发明包括扫描机构、复合式激光干涉测头和回转工件台三部分，被测非球面放置在回转工件台上，扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，复合式激光干涉测头通过旋转机构固定在Z向导轨末端，该测头结合单波长干涉与合成波长干涉技术进行测量，可对微小台阶形状进行直接测量同时保证非球面的高精度测量，该测头内部有一个位置传感器来测量被测非球面表面的斜率变化并实时调节旋转机构，使测头与被测非球面表面始终保持垂直，从而保证测头接受到足够的光信号，本发明可以实现大口径、高数值孔径、大曲率及具有小台阶特征的非球面元件表面形状的超精密、快速测量。

主权项

一种基于复合激光干涉的法线跟踪式非球面测量方法，其特征在于该方法步骤如下：(1)该方法利用扫描机构、复合式干涉测头和回转工件台来实现；扫描机构采用X向导轨与Z向导轨实现XZ平面内扫描，Z向导轨末端带有旋转机构，复合式干涉测头固定在该旋转机构上，可以进行回转运动，被测非球面放置在回转工件台上；(2)通过扫描机构将复合式干涉测头移动到被测非球面上的待测点，采用激光干涉仪记录下此时旋转机构中心的X向和Z向位置坐标，分别记为x1、z1，在移动过程中激光干涉仪的测量光与旋转机构中心始终符合阿贝原则，从而消除测量中的阿贝误差；然后利用复合式干涉测头对被测非球面进行测量；(3)复合式干涉测头采用两个稳频激光器作为光源，波长分别为λ1和λ2，两稳频激光器的输出光首先分别经过一个光隔离器，以消除回光对稳频激光器的影响，然后两输出光分别经过二分之一波片和光纤耦合器后，被耦合进保偏光纤进行合光与传输，同时通过调节光路中的两个二分之一波片，使两束激光的偏振方向相互垂直，并且其中一束激光的偏振方向与保偏光纤的快轴对齐，另一束激光的偏振方向与保偏光纤的慢轴对齐；(4)两束激光经保偏光纤合光传输后，被准直成平行光束，平行光束被分光镜分为两部分，其中一部分被透镜会聚到参考镜上作为参考光，另一部分被透镜会聚到被测非球面上作为测量光；(5)被测非球面的反射光一部分被透镜会聚到位置传感器上，将会聚光斑的位置转换成相应的电信号，并将电信号送入信号处理系统进行处理；当测量光与被测非球面垂直时，会聚光斑位于传感器中心，输出电信号为0；当测量光与被测非球面不垂直时，会聚光斑则偏离传感器中心，输出电信号不为0，将输出电信号送入信号处理系统进行处理，信号处理系统输出一个控制信号来调节Z向导轨末端旋转机构的旋转角度，直至使复合式干涉测头的测量光与被测非球面垂直，此时旋转机构的角度记为θ1，从而保证在测量过程中，复合式干涉测头的测量光与被测非球面始终保持垂直，不受被测非球面曲率的影响；(6)当复合式干涉测头的测量光与被测非球面垂直时，被测非球面的另一部分反射光与参考镜的反射光重新在分光镜处叠加形成干涉信号，该干涉信号由两个正交偏振，波长分别为λ1和λ2的干涉分量组成，两干涉分量被偏振分光镜分离成两个独立的干涉信号，并分别被光电探测器接收转换成电信号I1和I2，送入信号处理系统进行处理；(7)信号处理系统利用波长为λ1和λ2的两干涉信号可以对被测非球面进行连续高精度干涉测量，但只能对连续表面进行测量；同时，两激光波长λ1和λ2结合可构成一个合成波长Λ，其大小为Λ＝λ1λ2/(λ1‑λ2)；合成波长Λ均远大于λ1和λ2，因此利用合成波长Λ扩大了复合式干涉测头的测量范围，对高度小于Λ/2的台阶形状可直接进行测量；(8)最终信号处理系统通过分析测量过程中记录的x1、z1、θ1、I1和I2，可以计算出被测非球面上待测点的坐标值；(9)按照预先设定的扫描轨迹，扫描机构将复合式干涉测头移动到被测非球面的下一个待测点，在每个待测点都重复步骤(2)～(8)的测量过程，直至完成整个扫描轨迹的测量，通过综合扫描轨迹上所有测量点的坐标值可以获得被测非球面的面形信息。