[发明专利]用于检测透明基底的内部瑕疵的光学装置及方法有效
| 申请号： | 201510301023.0 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106248684B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 郑媛;朱嘉 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | G01N21/896 | 分类号： | G01N21/896 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 臧永杰;申屠伟进 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于检测透明基底瑕疵的光学装置及方法。用于检测透明基底内部瑕疵的光学装置包括：用于在预定低分辨率下检测基底的第一检测单元，包括第一感光元件以及位于所述基底和第一感光元件之间的第一镜头，其中第一感光元件和所述第一镜头放置成：使得物面相对于所述基底倾斜设置；用于在预定高分辨率下检测基底的第二检测单元，包括第二感光元件以及位于基底和所述第二感光元件之间的第二镜头，以及处理器，用于将第一检测单元检测到的瑕疵的一部分确定为有待第二检测单元检测的瑕疵，以及用于根据第二检测单元所成的像确定瑕疵的类型。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 透明 基底 内部 瑕疵 光学 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测透明基底的内部瑕疵的光学装置，包括：/n被配置用以在预定低分辨率下检测所述基底的第一检测单元，其中所述第一检测单元包括第一感光元件以及位于所述基底和所述第一感光元件之间的第一镜头，并且所述第一感光元件和所述第一镜头放置成：使得物面相对于所述基底倾斜设置，/n被配置用以在预定高分辨率下检测所述基底的第二检测单元，其中所述第二检测单元包括第二感光元件以及位于所述基底和所述第二感光元件之间的第二镜头，以及/n处理器，其被配置用以将由所述第一检测单元检测到的瑕疵的一部分确定为由所述第二检测单元待检测的瑕疵，以及根据由所述第二检测单元对所述基底所成像的像确定瑕疵的类型，/n所述处理器还被配置用以根据在由所述第一检测单元对瑕疵所成像的像具有最佳锐度时所述瑕疵成像在所述第一感光元件上的像素位置确定所述瑕疵在基底厚度方向上的位置，从而确定所述瑕疵是否为由所述第二检测单元待检测的瑕疵。/n
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