[发明专利]超高真空自旋极化扫描隧道显微镜探针的制备方法和装置有效
| 申请号： | 201510296683.4 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN104880579B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 潘明虎 | 申请（专利权）人： | 苏州明志金科仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/16 | 分类号： | G01Q60/16;G01Q60/42;G01Q70/18 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 沈兵 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料测试仪器领域，更确切地说涉及一种超高真空下进行自旋极化扫描探针显微镜探针的制备方法和装置。整个方案涉及到在超高真空中对扫描隧道显微镜探针的针尖进行高温处理，以求达到清洁针尖，去除针尖表面的氧化层。在此基础上，在针尖的顶端蒸镀几个原子层厚的磁性金属薄膜，以达到产生自旋极化电流的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 超高真空 针尖 扫描隧道显微镜探针 方法和装置 自旋极化 制备 扫描探针显微镜探针 磁性金属薄膜 自旋极化电流 材料测试 高温处理 仪器领域 针尖表面 氧化层 原子层 蒸镀 去除 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种超高真空自旋极化扫描隧道显微镜探针的制备方法，其特征是，方法如下：（a）准备一个可超高真空中用的针尖架，用于传递针尖，针尖置于针尖架上，用钨丝制成一个原位的电子束加热环；（b） 加热环通电流，电流的大小可调，在一定的电流下钨丝环发热，发射热电子，微调扫描隧道显微镜探针的位置，使得针尖的顶端刚好处于加热环的中心，加热环上加负高压，热电子在电场的作用下，轰击扫描隧道显微镜探针的尖端，局部加热针尖同时除去针尖表面的氧化层，达到清洁针尖的效果；（c）针尖清洁之后，在超高真空原位，将针尖在室温温度下蒸镀上磁性金属的薄膜。
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