[发明专利]一种新型环形谐振腔及其制备方法有效
| 申请号： | 201510290927.8 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104849804B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张巍;韩金涛;魏凤娟;徐培鹏;王贤旺;张培晴;吴越豪 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司： | 浙江素豪律师事务所33248 | 代理人： | 卢柯权 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种新型环形谐振腔，包括衬底材料层和位于衬底材料层上的薄膜层，该薄膜层包括多条波导，所述薄膜层为硫系玻璃材料，所述薄膜层的波导包括一环形的跑道型波导和位于跑道型波导的两端外侧的两条外侧波导，所述跑道型波导包括位于两端的两条相对设置的弧形波导和位于两条弧形波导之间的直线波导，所述外侧波导包括位于跑道型波导的两端的弧形波导外侧与弧形波导同轴并且保持等间隔延伸的弯曲波导，和位于弯曲波导的两端与弯曲波导同向延伸并且与直线波导相垂直的外侧直线波导。该新型环形谐振腔，不但结构简单，便于制备，而且能够提高耦合效率，节省传输空间，并且获得较高的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 环形 谐振腔 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种新型环形谐振腔，包括衬底材料层(1)和位于衬底材料层(1)上的薄膜层(2)，该薄膜层(2)包括多条波导，其特征在于：所述薄膜层(2)为硫系玻璃材料，所述薄膜层(2)的波导包括一环形的跑道型波导(3)和位于跑道型波导(3)的两端外侧的两条外侧波导(4)，所述跑道型波导(3)包括位于两端的两条相对设置的弧形波导(31)和位于两条弧形波导(31)之间的直线波导(32)，所述外侧波导(4)包括位于跑道型波导(3)的两端的弧形波导(31)外侧与弧形波导(31)同轴并且保持等间隔延伸的弯曲波导(41)，和位于弯曲波导(41)的两端与弯曲波导(41)同向延伸并且与直线波导(32)相垂直的外侧直线波导(42)；所述跑道型波导(3)的宽度(a)为0.9um‑1.1um，所述外侧波导(4)的宽度(b)为0.9um‑1.2um；所述跑道型波导(3)的两端的弧形波导(31)与外侧的弯曲波导(41)之间的间隔的距离(d)为0.6um‑1um。
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