[发明专利]一种高温熔融材料的静电悬浮装置

摘要

本发明涉及一种高温熔融材料的静电悬浮装置，包括：侧面设有多个窗口的腔体；设置于所述腔体内的电极单元，所述电极单元包括用于控制样品的竖直方向位置的竖直方向上的主电极对和用于控制所述样品的水平方向位置的至少一对侧电极对；设置于所述腔体外侧的位置激光单元，所述位置激光单元包括以所述腔体的轴心中心对称的至少一对激光器和位置探测器，所述激光器产生的光束穿过所述腔体的窗口投射于所述位置探测器上；设置于所述腔体外侧的加热激光单元，所述加热激光单元包括至少一个加热源，所述加热源穿过所述腔体的窗口对所述样品加热。本发明可进行高温加热，且悬浮稳定性优异，能够满足材料热物性研究及新材料制备等工作。

主权项

1.一种高温熔融材料的静电悬浮装置，其特征在于，包括：侧面设有多个窗口的腔体，所述腔体的真空度为10^‑4Pa以下；设置于所述腔体内的电极单元，所述电极单元包括用于控制样品的竖直方向位置的竖直方向上的主电极对和用于控制所述样品的水平方向位置的至少一对侧电极对，所述主电极对中上电极的端面的面积小于下电极的端面的面积，且所述下电极的端面为凹槽形圆面，所述上电极的端面为圆形平面，所述上电极和所述下电极分别设有相对的中心通孔，所述上电极和所述下电极的端面平行且两端面之间距离为6～10mm，所述侧电极对固定在圆形的盖板上，所述盖板能自由转动；设置于所述腔体外侧的位置激光单元，所述位置激光单元包括以所述腔体的轴心中心对称的至少一对He‑Ne激光器和PSD位置敏感探测器，所述He‑Ne激光器产生的光束穿过所述腔体的窗口投射于所述PSD位置敏感探测器上；设置于所述腔体外侧的加热激光单元，所述加热激光单元包括多个经聚光镜聚光后照射所述样品的加热源，多个所述加热源包括通过所述主电极对的上电极的中心通孔来垂直照射所述样品的竖直方向的CO₂激光器和穿过所述腔体的窗口对所述样品加热的夹角120°的水平方向的三个CO₂激光器。