[发明专利]一种蒸发装置有效
| 申请号： | 201510272145.1 | 申请日： | 2015-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN104947042B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸发装置技术领域，公开一种蒸发装置，上述蒸发装置包括用于装载蒸发材料的坩埚，坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，内层壁与外层壁之间的夹层形成腔室，腔室内填充满无机盐；用于加热坩埚的加热元件。上述蒸发装置在工作过程中，在利用加热元件加热坩埚时，腔室内的无机盐会由于受热而变为熔融态，灌满腔室的熔融态无机盐可以均匀导热，从而可以使坩埚在加热过程中内层壁的温度分布更加均匀，从而，可以使蒸发材料的受热均匀性较好。因此，利用上述蒸发装置蒸发时，蒸发材料受热的温度均匀性较好，从而，在采用上述蒸发装置进行有机材料蒸镀时，蒸镀出来的膜层厚度较均匀且不会导致有机材料发生变性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发装置，其特征在于，包括：用于装载蒸发材料的坩埚，所述坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，所述内层壁与所述外层壁之间形成腔室，所述腔室内填充满无机盐；用于加热所述坩埚的加热元件。
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