[发明专利]一种蒸发装置有效
| 申请号： | 201510272145.1 | 申请日： | 2015-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN104947042B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发装置，其特征在于，包括：
用于装载蒸发材料的坩埚，所述坩埚的体壁包括内层壁和外层壁，所述内层壁与所述外层壁之间形成腔室，所述腔室内填充满无机盐；
用于加热所述坩埚的加热元件。
2.如权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述无机盐为至少两种盐组成的无机盐的混合物。
3.如权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，所述无机盐为质量分数为50％的硝酸钾和质量分数为50％的亚硝酸钠组成的无机盐的混合物。
4.如权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，所述加热元件埋入所述腔室内的无机盐中。
5.如权利要求4所述的蒸发装置，其特征在于，所述加热元件为电热丝。
6.如权利要求5所述的蒸发装置，其特征在于，所述电热丝包括金属丝和包裹在所述金属丝外、用以使所述金属丝和所述无机盐电隔绝的绝缘鞘。
7.如权利要求5所述的蒸发装置，其特征在于，所述坩埚为槽型结构，所述坩埚的体壁包括配合以围成槽型结构的底壁和侧壁，所述加热元件位于所述侧壁中。
8.如权利要求7所述的蒸发装置，其特征在于，所述加热元件沿所述侧壁的延展方向呈蛇形弯曲延伸。
9.如权利要求1～8任一项所述的蒸发装置，其特征在于，所述腔室为封闭式的腔室。
10.如权利要求1～8任一项所述的蒸发装置，其特征在于，还包括：
与所述坩埚外层壁接触、用于感测坩埚外层壁温度的温度感应器；
用于根据温度感应器感测到的坩埚外层壁的温度控制所述加热元件对坩埚的加热温度的温度控制器。
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