[发明专利]一种悬挂定位机构有效

专利信息
申请号: 201510270153.2 申请日: 2015-05-24
公开(公告)号: CN106291853B 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 李素平;刘剑 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00;H01L21/68
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种悬挂定位机构,包括运动组件和不动组件,运动组件包括:本体、设于本体一侧的至少两个接触块、一个凹槽、一个一端收容在凹槽内的挂钩和设于本体底部若干高度可调的滑轮组件;不动组件的一侧包括:与接触块相配合的支撑组件和提升组件、与挂钩相配合的挂钩定位组件和挂钩拨杆组件、以及用于定位运动组件的X向定位件和Y向定位件。本发明通过设置接触块和具有平衡功能的支撑组件,可有效提高运动组件的定位稳定性和可靠性,同时设置提升组件提高了光学系统重复定位和拆装速度;采用高度可调的若干滑轮组件,有效调节运动组件的整体位置,防止其在定位过程中与不动组件上方的零部件发生碰撞,操作简单方便,效果稳定可靠。
搜索关键词: 一种 悬挂 定位 机构
【主权项】:
1.一种悬挂定位机构,包括运动组件和不动组件,其特征在于,所述运动组件包括:本体,设于本体一侧的至少两个接触块、一个凹槽、一个一端收容在凹槽内的挂钩和设于本体底部若干高度可调的滑轮组件;所述不动组件的一侧包括:与所述接触块相配合的支撑组件和提升组件、与所述挂钩相配合的挂钩定位组件和挂钩拨杆组件、以及用于定位运动组件的X向定位件和Y向定位件;所述接触块设于所述本体一侧底部,且前端从本体底部伸出,前端上表面向上凸起,前端底面向下凸伸形成带有圆弧面的凸轨;所述支撑组件包括旋转轴、套设在旋转轴上且数量与接触块相对应的支撑块、以及与旋转轴一端连接的旋转块,所述支撑块与YZ平面设有夹角,指向X轴负方向,且支撑块上端面为与所述凸轨相适配的弧面。
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