[发明专利]真空镀膜装置及镀膜方法有效
| 申请号： | 201510242400.8 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN104894522B | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 王君 | 申请（专利权）人： | 安徽普威达真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙)34125 | 代理人： | 胡东升 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 真空镀膜装置，包括呈筒状的带有夹层的冷却水套，所述冷却水套的两端分别设置端盖进行密封，所述端盖与所述冷却水套之间通过紧固机构绝缘连接，其中一个端盖上设有供待处理零件进入所冷却水套的第一通孔，另一个端盖上设有抽真空接口、工作气体接口以及真空测量接口，所述冷却水套的夹层内设有多个间隔布置的环形磁体。本发明还提供利用所述的真空镀膜装置进行真空镀膜的方法。本发明利用管状靶材的环状结构及环形磁体的环状布置特点，通电后，溅射过程兼具空心阴极放电和磁控溅射放电的特点，工作气体分子离化率高，溅射速率高，可以使膜材以高沉积速率沉积在待处理零件需要镀膜的区域，而且无需额外真空室结构及复杂的运动机构。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
真空镀膜装置，其特征在于：包括呈筒状的带有夹层的冷却水套(1)，所述冷却水套(1)的两端分别设置端盖(2)进行密封，所述端盖(2)与所述冷却水套(1)之间通过紧固机构(3)绝缘连接，其中一个端盖(2)上设有供待处理零件进入所冷却水套(1)的第一通孔(21)，另一个端盖(2)上设有抽真空接口(22)、工作气体接口(23)以及真空测量接口(24)，所述冷却水套(1)的夹层内设有多个间隔布置的环形磁体(4)；管状靶材(8)贴附于冷却水套(1)的内表面，管状靶材(8)、冷却水套(1)、环形磁体(4)共同形成溅射阴极，设有抽真空接口(22)的端盖(2)作为溅射阳极，设有第一通孔(21)的端盖(2)作为偏压接入端。
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