[发明专利]蒸镀遮罩、蒸镀方法及蒸镀遮罩之制造方法在审
| 申请号： | 201510214919.5 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN106191783A | 公开（公告）日： | 2016-12-07 |
| 发明（设计）人： | 黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于在显示面板基板上形成电致发光材料层的蒸镀遮罩，该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。由于本发明之蒸镀遮罩于主体膜内掺杂磁性颗粒使得主体膜具有磁性，蒸镀遮罩借助磁性颗粒的磁力固定，主体膜采用较易加工的树脂材质来代替现有技术之金属材质的蒸镀遮罩，有助于提高蒸镀之精度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀遮罩 方法 制造 | ||
【主权项】：
一种蒸镀遮罩，用于在显示面板基板上形成电致发光材料层，其特征在于：该蒸镀遮罩包括主体膜及掺杂在该主体膜内部的磁性颗粒，该主体膜为树脂材料，该主体膜包括至少一像素区域，每一所述像素区域上形成有蒸镀所需要之第一开口。
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