[发明专利]从废ITO靶材中回收制备纳米ITO粉体的方法在审
| 申请号： | 201510196915.9 | 申请日： | 2015-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN104843771A | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 熊爱臣;陈进中;徐灿辉;叶有明;曾纪术;伍祥武;张元松;谭翠 | 申请（专利权）人： | 柳州百韧特先进材料有限公司 |
| 主分类号： | C01G19/02 | 分类号： | C01G19/02;B09B3/00 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 姚迎新 |
| 地址： | 545000 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及ITO粉末的制备领域，具体说是从废ITO靶材中回收制备纳米ITO粉体的方法，其包括清洁废ITO靶材，再将该废靶材放入坩埚中；接着将坩埚放入等离子反应室中，在反应室内电离惰性气体形成高温等离子体，等离子体对废靶材加热形成ITO蒸汽；然后将惰性气体和ITO蒸汽导向反应室内壁进行撞击；再冷却ITO蒸汽凝聚形成ITO粉末；收集粉末。本发明可由ITO废靶一步反应直接制备为纳米ITO粉体，回收率为99%以上，所得成品可直接应用于制备ITO靶材，相比之下大大缩短了废靶回收再利用的周期，节约了生产成本，容易实现规模化生产，生产效率极高；此外生产过程中不需使用强酸，减少了环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | ito 靶材中 回收 制备 纳米 方法 | ||
【主权项】：
从废ITO靶材中回收制备纳米ITO粉体的方法，其包括以下步骤：（1）清洁废ITO靶材，再将该废靶材放入坩埚中；（2）接着将坩埚放入等离子反应室中，在反应室内电离惰性气体形成高温等离子体，等离子体对废靶材加热形成ITO蒸汽；（3）然后将惰性气体和ITO蒸汽导向反应室内壁进行撞击；（4）再冷却ITO蒸汽凝聚形成ITO粉末；（5）收集粉末。
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