[发明专利]浸涂用保持夹具及采用其的浸涂系统在审
| 申请号： | 201510194845.3 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN106140576A | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 渡部彰;鬼冢刚 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C3/10 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 万利军;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及用浸涂法在基板上形成膜厚分布均匀的涂膜的浸涂用保持夹具及使用其的浸涂系统。实施方式所涉及的浸涂用保持夹具具有保持部件，在至少一部分具有多孔质体，能插入基板中央区域的第1贯通孔。 | ||
| 搜索关键词： | 浸涂用 保持 夹具 采用 系统 | ||
【主权项】：
一种浸涂用保持夹具，是用于对在中央区域具有第1贯通孔的基板进行浸涂的保持夹具，其特征在于，包括保持部件，该保持部件能插入该第1贯通孔，且在至少一部分具有多孔质体。
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