[发明专利]半导体器件及制造方法有效
申请号: | 201510178296.0 | 申请日: | 2015-04-15 |
公开(公告)号: | CN105097900A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 约翰内斯·J·T·M·唐克尔;斯蒂凡·巴斯蒂安·西蒙·海尔;乔斯·安德斯帝格 | 申请(专利权)人: | 恩智浦有限公司 |
主分类号: | H01L29/47 | 分类号: | H01L29/47;H01L21/285 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王波波 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 半导体器件包括在衬底上的至少一个有源层,以及到该至少一个有源层的肖特基接触,肖特基接触包括至少为钛和氮的主体,主体与至少一个有源层电性耦合。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,其特征在于,包括:位于衬底上的至少一个有源层、以及到至少一个有源层的肖特基接触,所述肖特基接触包括至少为钛和氮的主体,主体与所述至少一个有源层电性耦合。
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