[发明专利]一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统有效
| 申请号： | 201510155700.2 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104819987B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 丁永坤;曹柱荣;邓博;陈韬;安宁;王秋平;江少恩 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 621900 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统，它包括两块掠入射曲面X光光学器件，分别命名为第一光学器件和第二光学器件，第一光学器件和第二光学器件的光轴正交，由物点发出的X光经过第一光学器件反射，在子午方向实现聚焦形成准单色化的一维图像，再经过第二光学器件在弧矢方向实现分光并聚焦，形成高单色化的二维图像，最后成像到记录介质上。本发明的超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统具有空间分辨高，能量分辨好，像差小的特点，很好的克服了传统X射线显微镜的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 分辨 射线 入射 显微 成像 系统 | ||
【主权项】：
一种超高谱分辨的X射线掠入射显微成像系统，其特征在于：包括两块掠入射曲面X光光学器件，分别命名为第一光学器件和第二光学器件，第一光学器件和第二光学器件的光轴正交，由物点发出的X光经过第一光学器件反射，在子午方向实现聚焦形成准单色化的一维图像，再经过第二光学器件在弧矢方向实现分光并聚焦，形成高单色化的二维图像，最后成像到记录介质上；所述的第一光学器件为多层膜反射镜，第二光学器件为弯晶，所述掠入射曲面X光光学器件的面形为凹面面形；所述第一光学器件的设置方位相对于入射光具有3.575°掠入射角，所述第二光学器件的设置方位相对于第一光学器件的出射光具有36.648°Bragg角；所述第一光学器件和第二光学器件晶之间的距离设置为20mm，所述第一光学器件的基底曲率半径为6300mm，所述第二光学器件的弯曲半径为529mm。
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