[发明专利]跨尺度二维大行程高速高精度运动平台

摘要

本发明涉及一种跨尺度二维大行程高速高精度运动平台，采用H型结构，由一个上层Y向工作台、一个下层X向双边驱动工作台、一个大理石平台及一个支架组成。上层Y向工作台与下层X向双边驱动工作台以串联方式连接，由高速滚动直线导轨导向，并采用光栅尺进行位置反馈。上层Y向工作台由一个直线电机驱动，通过一个转接板固定在下层X向双边驱动工作台的动平台上；下层X向工作台由两个直线电机同时驱动，通过螺钉固定在大理石平台上；大理石平台放置于支架上。本发明采用直线电机驱动、光栅尺反馈、滚动导轨导向的二维运动平台，结构简单，刚度高，承载能力大，定位精度高，可以实现二维大行程高速高精度的运动。

主权项

一种跨尺度二维大行程高速高精度运动平台，包括一个上层Y向工作台（1）、一个下层X向双边驱动工作台（2）、大理石平台（3）及支架（4），其特征在于，所述上层Y向工作台（1）与下层X向双边驱动工作台（2）以串联方式连接，置于大理石平台（3）上；所述上层Y向工作台（1）由一个Y向直线电机（25）驱动，两个Y向高速滚动直线导轨（8）导向，并通过一个Y向光栅尺（28）完成Y方向位置反馈；上层Y向工作台（1）通过XY转接板（5）固定在下层X向双边驱动工作台（2）上；所述下层X向双边驱动工作台（2）由两个X向直线电机（6）同步驱动，两个X向高速滚动直线导轨（7）导向，并通过两个X向光栅尺（13）完成X方向双边位置反馈；下层X向双边驱动工作台（2）通过螺钉固定在大理石平台（3）上；大理石平台（3）由支架（4）支撑，所述支架（4）包括四个调节螺栓（37）、四个支承座（35）、四个支架梁（36）及四个支撑脚垫（38），支架（4）通过四个调节螺栓（37）调整大理石平台（3）的高度，使其与地面保持平行。