[发明专利]一种实现多模式输出磁控溅射镀膜电源电路及控制方法有效
| 申请号： | 201510129650.0 | 申请日： | 2015-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN104674178B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 饶益花;陈文光 | 申请（专利权）人： | 南华大学;饶益花;陈文光 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;H02M3/155 |
| 代理公司： | 湖南省国防科技工业局专利中心43102 | 代理人： | 冯青 |
| 地址： | 421001 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种实现多模式输出磁控溅射镀膜电源电路及控制方法。采用全控型快速功率半导体开关和数字微处理器控制技术，通过控制这些半导体功率器件按照不同的工作时序，来实现直流溅射、单向脉冲溅射、双向对称中频溅射及双向不对称中频溅射等四种模式输出功能，在同一台设备上完成不同溅射镀膜工艺。时序控制和镀膜电源输出工艺参数设定通过软件实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 模式 输出 磁控溅射 镀膜 电源 电路 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种实现多模式输出磁控溅射镀膜电源电路，包括直流稳压电源（1）、主电路（2）、数字控制器（3）、驱动器（4）及靶极（01），所述的主电路包括五个开关、两个二极管、一个高频电感及两个储能电容器，其特征在于，开关Ⅰ（5）与开关Ⅱ（6）组成左桥臂，开关Ⅲ（7）与开关Ⅳ（8）组成右桥臂；储能电容器Ⅰ（13）与直流稳压电源（1）及左桥臂并联；储能电容器Ⅱ（14）与右桥臂并联；开关Ⅴ（9）与二极管Ⅰ（10）并联，并与高频电感（12）串联，然后连接在左桥臂及右桥臂上端；左右桥臂下端与储能电容器Ⅰ（13）负极、储能电容器Ⅱ（14）负极及直流电源负极连接在一起；二极管（11）阴极连接在高频电感左端，阳极连接在直流稳压电源（1）的负极；靶极（01）左边连接到开关管Ⅰ（5）与开关管Ⅱ（6）之间，右边连接到开关管Ⅲ（7）与开关管Ⅳ（8）之间。
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