[发明专利]检测表面性质的设备和方法有效
申请号: | 201510114458.4 | 申请日: | 2015-03-16 |
公开(公告)号: | CN105044036B | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 乌韦·斯珀林;彼得·施瓦茨 | 申请(专利权)人: | 毕克-加特纳有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/47 | 分类号: | G01N21/47;G01N21/64 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 张颖玲;孟桂超 |
地址: | 德国盖*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于表面性质检测的设备,具有:外壳;光源,将光线穿过所述外壳上的开口射出至待检测表面;第一探测器装置,关于由所述光源辐射至所述表面上的光束成第一预设角度地设置在内部;第二探测器装置,关于由所述光源辐射至所述表面上的光束成第二预设角度地设置;以及第三探测器装置,关于由所述光源辐射至所述表面上的所述光束成第三预设角度地设置在所述外壳内;根据本发明,该设备包括具有相互不同的光学性质的至少两个滤波元件,所述滤波元件被设置在关于所述光源可移动的共用载体上,以这样的方式使得这些滤波元件中的每一个能够可选地被引入至位于所述光源和所述表面之间的光束路径中。 | ||
搜索关键词: | 检测 表面 性质 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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