[发明专利]一种具有微锥塔阵列端面的电极及其加工方法与应用

摘要

本发明公开了一种具有微锥塔阵列端面的电极及其加工方法与应用。电极包括相互连接的电极端头和配气导向杆；电极端头的放电端面上加工微锥塔阵列，多个微锥塔在电极端头的平面上纵横依次成排连接；其中微锥塔为微小的锥形结构，V形沟槽底部通过半径为1～5微米的过渡圆弧连接；微锥塔的底部之间均匀分布着通气孔；配气导向杆中部设有导向杆空腔，导向杆空腔与通气孔连通。本发明随着电极不断地向工件进给，阵列结构中每个微锥塔尖端都将产生电火花腐蚀，最终每个锥塔尖端都会在工件表面加工出微结构，该加工方法在一次加工行程中能形成多个微结构，加工效率大大提高，大大缩短加工时间，降低加工成本，适合于批量生产。

主权项

具有微锥塔阵列端面的电极的脉冲气流辅助聚热排屑的微阵列放电加工方法，其特征在于：电极向工件方向进给，电极由电极端头和配气导向杆组成，导向杆的导向杆空腔与通气孔连通，电极端头加工的微锥塔阵列的微锥塔尖端产生电火花腐蚀，随着电极不断地向工件进给，每个微锥塔尖端都将产生电火花腐蚀，在进行微放电的时候，向电极的通气孔通入脉冲气流；微放电脉冲电源的开路电压为2～50V；所述脉冲气流的通气频率和微放电脉冲电源频率的频率都为300～1000Hz，脉冲气流比微放电脉冲电源的电源脉冲提前0.5‐1微秒，使得每次电火花放电时脉冲气流都能准时到达放电尖端；最终在工件表面加工出微结构阵列；所述具有微锥塔阵列端面的电极包括相互连接的电极端头和配气导向杆；所述电极端头的放电端面上加工微锥塔阵列，多个微锥塔在电极端头的平面上纵横依次成排连接；其中微锥塔为微小的锥形结构，锥塔角度为45～90度，高度为5～200微米，间距为5～200微米；微锥塔之间形成V形沟槽结构，V形沟槽底部通过半径为1～5微米的过渡圆弧连接；微锥塔的底部之间均匀分布通气孔；配气导向杆中部设有导向杆空腔，导向杆空腔与通气孔连通。