[发明专利]一种磁浮平面电机非接触六自由度定位装置及方法在审
| 申请号： | 201510098079.0 | 申请日： | 2015-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN105278255A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 周柔刚;周才健 | 申请（专利权）人： | 杭州汇萃智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B11/00;G01B11/14;G01B7/02 |
| 代理公司： | 杭州华知专利事务所 33235 | 代理人： | 龙湖浩 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁浮平面电机非接触六自由度定位装置及方法。本发明的装置及方法包括：在磁浮平面电机的动子上建立笛卡尔坐标系，在所述的笛卡尔坐标系的X轴方向上设置第一激光干涉测量装置，在所述的笛卡尔坐标系的Y轴方向上设置第二激光干涉测量装置，所述的磁浮平面电机的动子上设置反光镜；所述的磁浮平面电机的动子上还设置若干涡流传感器，在磁浮平面电机的定子上表面贴设水平的铝板，通过激光干涉测量装置和涡流传感器测得数据，并进行运算得到结果。本发明提供一种能够实现大行程距离测量，受外界因素干扰较小，结构简单，且精度更高的应用于大行程磁浮平面电机动子的六自由度非接触位置检测装置及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 电机 接触 自由度 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种磁浮平面电机非接触六自由度定位装置，其特征在于：包括磁浮平面电机的动子(1)和定子，在磁浮平面电机的动子(1)上建立笛卡尔坐标系，在所述的笛卡尔坐标系的X轴方向上设置第一激光干涉测量装置(2.1)，在所述的笛卡尔坐标系的Y轴方向上设置第二激光干涉测量装置(2.2)，所述的磁浮平面电机的动子(1)上设置反光镜(3)；所述的磁浮平面电机的动子(1)上还设置若干涡流传感器(4)，在磁浮平面电机的定子上表面贴设水平的铝板(5)。
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